リバーエレテック株式会社は、文部科学省 マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）が主催する令和６年度「秀でた利用成果」において、利用課題「電子線描画装置を使用した1GHz OPAW振動子の電極パターニング」で優秀賞を受賞しました。

今回の受賞課題では、次世代通信技術における高周波数帯域の要求に対応すべく、革新的なKoTカットOPAW振動素子の開発を目指しました。本プロジェクトでは、技術課題であった水晶ウェハ上への高精度な電極パターニングを、ARIMの共用設備（東京大学・東北大学）利用により最先端の電子線描画装置を使うことで成功裏に実現しました。これにより、信頼性の高い1GHz帯の水晶振動素子の実用化が大きく前進しました。このたびの優秀賞受賞を励みとして、今後も革新的な研究開発を進め、次世代社会のニーズに応える技術の実現を目指してまいります。

マテリアル先端リサーチインフラは、最先端研究設備の利用とマテリアルデータの活用によって、研究者や産業界の専門家が材料に関する研究開発を行うためのサポートをしています。企業を含め、毎年約3,000件、昨年度までの11年間で約33,000件もの利用実績があります。「秀でた利用成果」は、①ナノテクノロジープラットフォーム/マテリアル先端リサーチインフラの活用・支援が大きな効果をもたらしたもの、➁イノベーションの創出にあたって大きな影響が期待できるもの、➂産業界・大学・公的機関の連携により大きな成果が得られたもの、という三つの基準で審査され、イノベーションに繋がることが期待されるなど、特に優れた成果に対する表彰です。

表彰式は令和7年1月29日（水）に東京ビッグサイトで開催され、利用成果発表会の中で最優秀賞の選考が行われる予定です。

プレスリリース：文部科学省ARIMの令和6年度「秀でた利用成果」優秀賞を受賞 - 高精度1GHz KoTカットOPAW水晶振動子（2024年11月12日）